電子部品、金属製品等の内部構造、欠陥等をX線透視により検査する。大型部品に対応した可動ステージと、操作を簡便化するティーチング機能を有し、試料の外観を撮影するCCDカメラの画像から、任意の角度、ポイントでの高度な透視観察が可能。
| 使用料項目 | 乾式Ｘ線透過装置 |
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機器の仕様
| メーカー | （株）島津製作所 |
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| 型式 | SMX-3500 |
| スペック | ・X線管出力：150kV、3.0mA （225W以下） ・9インチ イメージインテンシファイア ・検査視野：約55～90mm ・空間分解能：0.3mm ・搭載可能サイズ：Φ620×高さ 650mm以下 |
| 特記事項 |
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| 導入年度 | H21 |
| 導入事業名等 |
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